“多重曝光技术?” 站在高永明右侧的工程师露出抹不解,他叫唐鑫宇,是龙芯国际光刻团队的副首席。 他好像听说过,但记不起来在哪听过了。 “没错。” 林天点了点头,语气坚定道:“duv光刻机是可以制造14纳米芯片的,它的极限远不止于此,理想状态是能到7纳米。” 高永明:“!!!” 唐鑫宇:“!!!” 曲程:“!!!” duv光刻机极限居然是7纳米? 你在开什么玩笑? 陈星也被惊到了,如果真能使用一台20纳米制程的duv光刻机造出7纳米芯片,那西方会不会对此大跌眼镜? 别看明面上,米国还没下场封锁技术,但背地里,其实早就限购光刻机了。 它的做法很简单,可以卖你龙国光刻机,但不能卖给你最先进的光刻机。 例如两年前,28纳米还属于先进水平的时候,28纳米制程的duv光刻机就不能卖给龙国,谁敢卖,就是和米国作对。 荷兰敢吗? 显然是不敢的,它们也没有这个本事。 荷兰asml公司说白了,它就是个光刻机组装工厂,没有米国的光源技术,它啥也不是。 而到了今天,西方攻克了14纳米芯片后,已经把目光看向了7纳米芯片,自然而然的,20纳米duv光刻机就被放开了。 米国目的很明显,允许你用,但不允许你超越。 越是害怕,越会提防,因为龙国才脱离战争不到三十年,就发展到了世界第二大经济体,再给发展三十年会怎么样? 沉睡的雄狮,东方的巨龙,它们哪敢不防? 陈星虽然是商人,但同时也是位龙国商人,如果能在自家搞出14纳米芯片,那他还是愿意多支付一些流片费用的。 毕竟曲程也说了,之前龙兴科技公司申请的国家芯片扶持也走完审核流程,资金和土地都进入了最终的批准环节。 “说说使用这个多重曝光技术,流片要多少钱?” 陈星表明自己态度。 林天得到确切的答复后,述说自己的想法道: “光刻多重曝光技术,说通俗直白一点就是,原本只需一块的芯片掩膜版就可以搞定的生产,现在我们因为光刻机精度和分辨率的限制,将它拆分多块,每一块都有相对应的电路图案。” “比如我们要做14纳米芯片,可以把设计的芯片电路图案拆开,就得到了两份28纳米间隔的电路图案,分两次把它们刻在硅片上,就会形成完整的14纳米芯片电路图案,就类似于我们龙国的太极图,一阴一阳互补的意思。” “因为是两块芯片掩膜版,所以要给双倍的流片费用。” 陈星大致听明白了,这个多重曝光技术就相于要印刷一个ab字母的组合图案。 第一步先把ab拆开,得到a与b两个图案,然后将它们分别制作光掩膜版,紧接着用第一块a字母的掩膜版在硅片上刻了a,再用b字母的掩膜版在硅片上刻上b,最终得到所需要的ab组合图案。 八个字概括就是,精度不够,工序来凑。 “要花两倍的流片费用,高总,14纳米的……” 陈星刚想问问流片费多少,却发现高永明整个人止不住颤抖,瞳孔微缩的同时,充满了恍然大悟与激动之色。 他身旁的两位光刻工程师,也在喃喃低语。 “多重曝光…” “既然单次精度不够,为何不分两次曝光呢?” “好天才的想法…” 三人似乎进入了顿悟状态,高永明本身就是干这方面的,同时也是光刻领域的教授,他自然不会听不懂林天在说什么,现在他脑海只有一段话:“多重曝光技术,duv光刻机的春天终于要来了吗?” 一阴一阳的图案互补,理论上是绝对可以的,而且还能一分为四,虽然工序更复杂,还别说,7纳米芯片真能造! 曲程也在惊叹这个想法,他怎么说也是半导体领域院士,虽然不是光刻方面的,但步骤他可都是一清二楚的。 惊叹林天想法的同时,也在感慨陈星运气怎么这么好,可以结识到这么多天才。 高正谦、白衍、林天这三人,他都可以用怪胎形容了,而陈星可以同时和他们结交,并将其收入麾下,怪不得有人说,运气也是实力的一部分。 不知过去多久,可能有足足十分钟左右。 “呼——” 唐鑫宇长舒一口气,看向高永明说道:“生产阴阳芯片掩膜版,没准真能突破光刻机限制,造出14纳米芯片。” “我觉得可以一试。” 另一位龙芯国际的工程师也开口给予肯定。 以往他们的思维是,拥有多少纳米精度的光刻机,就制造多少纳米的芯片,这也是国际一直灌输的刻板理念,让他们的思维固化。 当林天提出多重曝光技术,并解答原理后,他们瞬间醍醐灌顶,跳出了刻板的固化思维,从而发现了新大陆。 高永明也是性情中人,双膝猛然弯曲。 不过林天眼疾手快,一把将他扶住,忍不住吐槽道:“不是,你想干嘛啊?” “授业之恩,今生难忘,以貌识人,羞愧难当!” 高永明仅用十六个字,就解释了他为何想跪。 多重曝光技术原理,简直照亮了龙芯国际要前进的方向,就如同海上行驶时所见的灯塔,同时他也在羞愧,为什么之前要用外表去评判一个人呢? 解决庞加莱猜想,拒绝数学菲尔茨奖,震惊全世界的佩雷尔曼还是个不修边幅的“流浪汉”呢! 还有龙国的一些“扫地僧”,他们同样不修边幅,怎么舒服,就怎么来,在课堂讲课时,还有人能当众吸烟喝酒。 在意识到自己犯下错误后,高永明也是敢于承担。 他身旁两位工程师也照葫芦画瓢,想感谢林天的授业之恩,被陈星一手一个抱住。 “哎!都快2015年了,就别整这些繁文缛节了,不如讲点实际的,流片费用能不能打个折。” 陈星是给足了他们台阶,为了维护气氛操碎了心。 “是啊!” 曲程也附和一声,调侃道:“虽说男儿膝下有黄金,但你们可别想用来交学费。” “实际一点,流片给他们打个折,就当是听了多重曝光技术原理的学费。” “好!” 高永明没有迟疑,立马承诺道:“这次14纳米芯片的流片费用,我龙芯国际全包了!”。