“稳态微聚束光源确实能用于光刻，不过我们如今只是实验验证了这一概念，距离具体的应用阶段恐怕还需要大量的实验研究。”　　教授办公室内，赵翔听完徐源的话，虽心中非常意动却也不得不摆出事实。　　作为自己提出并成功验证的概念，他当然希望能为国家解决眼下困境。　　毕竟目前国内半导体行业是个什么情况，只要接触网络都会知道。　　确实急需解决高端芯片制造问题。　　海外阿麦斯公司，使用的方法是用高能电子束轰击特定成分的气体，从而对晶圆片进行蚀刻，但国内现在的技术还做不出这种东西。但借助稳态微聚束，可以直接把电子束从零速度开始加速。　　直到加速到很高很高。　　那么所有速率的电子束全都有了，要用哪个速率的就放到特定的位置就行。　　原本同步辐射在加速器领域，是个相对来说比较讨厌的事情。　　因为会白白消耗加速器的能量，拖累粒子的进一步加速。　　但若用于光刻的话，则刚好能利用这个效应来制造特定波长的光。　　可以说能称得上脑洞大开。　　如果这座光刻工厂真能建成，那么其效率将远不是普通光刻机能比的。　　丝毫不夸张的讲，可以同时制造不同规格的芯片。　　就好比有人要六十度的水，但精准烧不出来，那就放一条很长的管道。　　让一百度的水流过管道逐渐冷却，要多少度的水在相应的位置直接接就行。　　不过理念归理念，如何让这些设想变成现实，还需要深入的研究。　　以及大量实验。　　徐源如何不知道赵翔的忧虑，毕竟现在对稳态微聚束的研究确实不成熟。　　若是晚上几年再启动光刻工厂项目，或许能更有底气自信些，不至于像现在这样，显得有些畏手畏脚。　　奈何有时候计划赶不上变化。　　形势不等人。　　眼下国内对5G领域的研究，因高端芯片问题，前进的路基本半废。　　既然决定了要自行解决高端芯片制造技术，那速度上就必须尽可能的快。　　否则对5G的发展就会落后国际。　　哪怕到时候再奋起直追，也会面对各样的问题。　　正所谓落后就要挨打，关于这点可以说深有体会。　　所以肯定不能把解决当下困境的希望，全部放在国产极紫外光刻机上。　　明知道有新的方向道路，不管最终能否成功，也要尽全力尝试。　　念头停留在这里，徐源整个人反倒放松很多。　　半点没有和赵翔客气。　　拉来椅子坐到办公桌对面，自己倒了杯水，然后才看向赵翔继续往下说。　　“传统的极紫外光刻机技术，很多专利都已经被阿麦斯公司掌握，我们想要研究出国产极紫外光刻机，确实是非常大的挑战。”　　“但谁规定制造高端芯片，就必须要用极紫外光刻机才行。”　　“使用稳态微聚束光源建造光刻工厂，更符合我们的半导体市场情况。”　　“而一旦这条路走通，那么芯片制造在很大程度上就变成了一个基建项目，这才是我们我们最熟悉且擅长的专属赛道。”　　赵翔认真听完徐源说的这些话，内心无比激动之下显得脸色都有些红润。　　作为科研人员，这两天他一直在关注网上的事。　　刚看到海外对国内5G领域的限制后，下意识便想到了自己的稳态微聚束。　　只不过此念头刚在脑海中浮现，很快便又被他主动抛之脑后。　　因为在他看来，稳态微聚束还需要更多实验，尚不到具体应用光刻制造芯片的程度。　　毕竟国内并没有适合的实验条件。　　要知道就连之前验证，也是借用了柏林那边的储存环进行实验。　　如今位于燕京的最新代高能辐射同步光源，正在如火如荼的建造中，但在正式交付使用之前，稳态微聚束也没法进一步研究实验。　　所以他并没有向科学院，提出建造光刻工厂方案。　　结果没想到徐源竟主动提了出来，并且还初步通过了科学院的认可。　　眼下海外集体不看好国产极紫外光刻机，都认为这个项目是不可能做到的事。　　其中阿麦斯公司首席执行官卡杰迪，更是接受媒体采访时，公开宣称就算公开极紫外光刻机图纸，也制造不出国产极紫外光刻机。　　正所谓泥人还有三分火气，更何况是他们这些科研人员。　　看到新闻后心里都憋着股气。　　想要为国内科研人员正名，让海外看看，在半导体领域同样能实现领先。　　单从这个层面来看，建造光刻工厂无疑是最合适。　　完全可以想象，当阿麦斯还在为，自己公司的极紫外光刻机骄傲，国内却已经建造出了光刻工厂，甚至能直接影响到他们的订单，到时候整个海外的脸色该会有多精彩可想而知。　　也正是由于这些念头，此刻赵翔越发意动。　　很快便又忍不住抛出了一个问题。　　“你讲的这些我都明白，说时候我比任何人都希望看到光刻工厂的建立。”　　“不过稳态微聚束还缺乏实验，并且就算真的要建造光刻工厂，那也要先把稳态微聚束光源解决。”　　徐源哪能不知道赵翔的真实想法，将对方这句话悉数听进耳中后，顿时嘴角微微上扬浮现一抹笑容。　　下秒也没有卖什么关子，直接开口回答：　　“直接对稳态微聚束光源的EUV光刻实验，同样能够研究稳态微聚束的特性。”　　“至于光刻工厂需要的同步光源，我的想法是，对现在正建造的高能同步辐射光源装置进行改造，增加其能够进行光刻的功能。”　　燕京高能同步辐射光源装置，是科学院之前确定并实施的重大项目。　　属于国家的基础科学建设。　　当初正是因为赵翔团队，借助柏林储存环成功验证稳态微聚束概念，成功证明稳态微聚束的价值，加上杨老对建造高能同步辐射光源非常支持，所以项目才会进行的这么顺利。　　但由于当初并没有往光刻工厂考虑，毕竟此概念还处于实验初期。　　因此所建造的高能同步辐射光源装置，主要用于相关的科学实验。　　不过如果现在进行适当改造的话，使之增加能用于EUV光刻的功能，可以让其变成基础科学实验，和光刻工厂并存的重要科学设施。　　他这样想也是考虑到当下时间紧迫，确实没有太多时间来建造同步辐射光源。　　否则重新选择合适地点建造的话，需要花费更长时间不说，经费问题也需要考虑，远不如在高能同步辐射光源装置基础上改造。　　这样就算光刻工厂研究不成功，也照样能继续作为基础科学设施使用。　　不会给科学院造成多大损失。　　能看出赵翔对这个想法也很支持，闻言立刻点头附和了句。　　“这确实是一个不错的选择。”　　“并且改建起来也不会增添多少麻烦，说不定还能提前交付。”　　说完整个人便又陷入到沉声中，这次似乎是在心中权衡着自己决定。　　最终。　　赵翔终于像是下定了决心。　　目光坚定的看向徐源，语气斩钉截铁的说：　　“我同意你的方案。”　　话音刚落。　　下秒又变得缓和起来，不过脸上笑容却丝毫没有消失的迹象。　　“说句实话也就是有徐院士你在，如果换做其他人来负责这个项目，我还真没有什么信心能搞出光刻厂。”　　他这句话可一点没有说错。　　当初在杨老的介绍下，他有幸能和徐源，共同研究验证稳态微聚束。　　要不是徐源帮了很多忙，稳态微聚束也没这么快进入到验证阶段。　　相当于硬生生加快了稳态微聚束的研究。　　尽管稳态微聚束还不算成熟，但和徐源合作，他还是想努力试试。　　或许真有可能打造出国产首座光刻工厂，给全世界人们一个轰烈震撼。　　如果换做其他人和他谈这个事，那绝对不会选择这样说。　　徐源对赵翔非常了解，知道对方肯定会同意，因此听到这个答案后，脸上表情倒也没有流露出惊讶之色。　　立刻反应过来后，当即主动伸出手和对方握了下。　　“我相信没问题。”　　向对方说这句话时，满是胸有成竹。　　因为就在这个时候，他赫然注意到眼前视野中浮现的光幕面板，新项目的进度条已然发生增长。　　——　　任务：稳态微聚束光刻工厂　　学科：物理　　进度：20%　　结果：未完成　　很显然出现的百分之二十进度条，正是先前他们对稳态微聚束的研究成果。　　或许之后的进度条增长会变得比较缓慢，但他相信结果肯定不会让所有人失望。　　而既然成功邀请赵翔，加入稳态微聚束光刻工厂的重点项目中，那么接下来首先要做的事，便是完成详细的项目方案。　　并在科学院会议上讨论研究。　　只有通过正式立项后，才能着手开始实施。　　并对高能同步辐射光源装置改造。　　徐源和赵翔本就负责稳态微聚束的研究，拿出相关方案自然不在话下。　　于是接下来的半个月时间内，两人便基本都在一起完善方案。　　另外值得一提的是，期间两人还特意去了科学馆杨老的办公室。　　向其请教交流探讨。　　杨老虽然不建议国家建造粒子对撞机，但对于加速器光源非常支持。　　之前也正是他给了赵翔很多帮助，所以才坚定了赵翔对稳态微聚束验证的信心。　　毫无疑问。　　当杨老得知要通过进一步研究稳态微聚束，来另辟蹊径建造光刻工厂，彻底解决国内高端芯片制造难的困境问题。　　对此不但非常高兴，还表示全力支持。　　同样深信不疑，相信国国内能在芯片制造上，走出属于自己的道路。　　成功建造出光刻工厂。　　……　　2017年1月20日。　　周五。　　距离除夕还剩一周时间。　　今天上午，科学院充斥着严肃氛围，连院里的助理研究员都在脸上看不到笑容。　　只有格外认真的神情。　　在上次科学院紧急会议召开后，才仅仅过去半个月的时间。　　便再次召开会议。　　且参与人数，要远远超过上回。　　这可以说还是从未见过的特殊情况。　　足以证明眼下形式多紧迫。　　在这种时候，紧张严肃才是主旋律，任谁也不会依旧笑容满面浑身轻松。　　“赵哥，放轻松点。”　　“没问题的。”　　此刻科学院内的道路上，徐源拍了拍赵翔的肩膀两人一起朝大厅赶去。　　因为两人比较熟络，私下里徐源都是以赵哥称呼。　　而今天他们参加这场会议，主要任务便是报告关于稳态微聚束光刻工厂方案，这决定着此后续项目能否顺利的正常展开。　　和上次紧急会议不同，这回提前进行了通知。　　所以现场参加会议的人员数量，保守估计已经超过了上百人。　　都是半导体相关领域内的院士资深教授。　　赵翔虽也是正教授，但和徐源两院院士的身份相比还要差不少。　　另外面对这么多院士教授作报告，赵翔心里面难免会有些紧张。　　“希望等下能顺利吧。”　　赵翔听到徐源的宽慰，暂时顿住脚步，深吸一口气说了这么句，然后才又继续迈动步伐。　　既然确定要参加徐源的这个项目，尽最大努力争取把光刻工厂给打造出来。　　那他肯定是希望能够成功。　　若在报告现场，方案便直接被否定，无法通过。　　心里面肯定会难以接受。　　有种辜负了徐源的信任的感觉。　　因此感到压力大，倒也属于正常情况。　　徐源对大厅只能说再熟悉不过，从首次在里面参加新当选院士颁证仪式，到后面参加院里的会议，今天又要到台上报告。　　肯定是轻车熟路。　　完全没有什么好担心的。　　不过他也对赵翔现在的心情表示理解，所以紧接着便又补充了句。　　“放心吧，杨老也会参加上午的会议。”　　是的。　　碍于稳态微聚束光刻工厂的事，杨老也罕见的主动参加了今天的会议。　　以他对稳态微聚束的信任和支持，方案肯定不会有什么问题。　　这点他很有自信。　　就这样没过多久，两人便顺利到达了大厅。　　推开门走到里面，能看到已经有不少人到场，其中徐源还看到不少熟悉的身影。　　其中便包括光电技术研究所的罗亚杰院士。　　他们光电技术研究所，也要进行国产极紫外光刻机的研发工作，按照相关规定流程，今天也是要上台进行方案规划报告的。　　简单来说就是拿出接下来研究的方向，以及目前正处于什么阶段。　　明确之后院里起码能知道进度，好在人员和经费设备等问题上进行支持。　　对此徐源也没有闲着，趁会议还没有开始，便带着赵翔朝罗亚杰等人走过去打起招呼。　　也算顺便让赵翔放松下精神。　　能够清楚看到，相比较上回见到罗亚杰，今天对方的脸色明显变得更加憔悴。显然这最近的半个月，没少为极紫外光刻机的事操心忧虑。　　但这也是没有办法的事情，海外既然已经把招式给摆了出来，不积极去应对又怎么能行。　　身为科研人员的骄傲还是有的。　　也就在两人寒暄着的时候，只见房门再次被人从外面推开。　　走进来的正是杨老，以及院长白新周，和另外几位负责人员。　　“杨老好。”　　大厅内的其他人，看到杨老居然也来了，惊喜之下连忙站起身打招呼。　　脸上纷纷堆着笑容。　　毕竟先不说杨老的年龄是场内最大的，单是在科学界的成就便值得其他人敬重。　　……　　伴随白新周和杨老入场，接着也没继续浪费时间。　　立刻便宣布会议正式开始。　　按照流程白新周简单讲了几句话后，便直接进入项目方案报告流程。　　对此杨老并没有发表讲话，很明显是专门为了稳态微聚束光刻工厂来的。　　最终由光电技术研究所的罗亚杰，率先上台进行相关的报告。　　尽管罗亚杰给大家分享了一个好消息，说到他们研究所关于22纳米超分辨光刻装备，最近在技术上迎来了新的突破之后，顿时引起台下不少人热烈鼓掌。　　但同时大家也都知道，就算攻克了22纳米光刻机制造技术，距离阿麦斯的7纳米极紫外光刻机，仍有着非常大的差距。　　关键这中间的差距，实在让人看不到追赶甚至超越的希望。　　之后另外两个进行光刻机研究的研究所，也上台进行了研究报告。　　至于结果则和光电技术研究所方面差不多。　　就算继续研究下去，除非出现奇迹，否则几年内想追赶上海外完全不可能。　　时间一分一秒流逝。　　院长白新周脸色也变得难看起来。　　如果说刚对外宣布，要自主研发国产极紫外光刻机的时候，还非常意气风发斗志昂扬，那么此刻经过半个月的沉淀认知后，才真正感觉到那种巨大技术差距下面临的无力感。　　不过很快白新周突然想到了什么，趁着其他人下去顿时把目光锁定了徐源。　　下秒直接开门见山道：　　“徐院士。”　　“我记得你上次提到稳态微聚束，其光源能够用于EUV光刻。”　　“现在有具体方案了吗？”　　徐源听到自己的名字，这时候自然不会卖关子，当即便开口回答起来。　　“是的院长。”　　“这段时间我和验证了稳态微聚束的赵翔教授，顺利完成了关于光刻工厂的相关构想，我向院里申请尽快开始此项目。”　　说完便和赵翔一起，两人配合着对已经完成的方案进行讲解。　　在场所有人中，有人了解过稳态微聚束，有的人则是首次听到。　　看见能让徐源这位两院院士如此重视，甚至还要求项目尽快立项实施，整个人的好奇心不由得被成功钩了出来。　　纷纷集中注意力朝徐源望去。　　而随着稳态微聚束光刻工厂的设想图，在大厅内屏幕上完全展示出来时，大家目光瞬间便被吸引住。　　“传统的极紫外光刻机技术，大多数专利都掌握在阿麦斯手中，我们想要在这种情况下研究出，几乎是一件很难短期做到的事。”　　“所以我在想有没有另辟蹊径的办法，能实现对高端芯片的制造。”　　“最终稳态微聚束出现在了我的脑海。”　　“理论上通过稳态微聚束光源，我们可以直接就建造出一座光刻工厂，利用不同波长的光源，去生产不同规格的芯片。”　　“并且我相信未来国内，会是最大的半导体市场。”　　“光刻工厂也符合我们的国情。”　　……　　徐源把大家的表情都看在眼里，不过并没有这时候去解释什么。　　而是按照自己的节奏，对光刻工厂方案进行报告。　　后面涉及到的相关理论技术等，则由赵翔配合顺利完成。　　待把整个方案报告完毕后，整个大厅陷入到了短暂的沉默之中，随即反应过来台下顿时一阵骚乱。　　大家都讨论着这个方案。　　“把芯片制造问题变成了我们最擅长的基建，这绝对是一个天才般的构想。”　　“我们确实不用必须延续海外的道路，谁说生产芯片就必须要有光刻机，建造这样的光刻工厂才适合我们。”　　“这是一个全新的研究方向，应该一试。”　　“如果光刻工厂真能实现的话，这对全球半导体行业都将是一场革命。”　　“我现在都已经迫不及待，想要看到这座光刻工厂投入使用的样子了，十万个零件的极紫外光刻机我们有图纸也制造不出来，但却能建造比得上很多台光刻机的光刻工厂。”　　“或许稳态微聚束光刻工厂，就是我们解决困境最大的转机。”　　……　　板了半天脸的白新周，此刻总算有了些笑容，对徐源和赵翔提出的光刻工厂方案同样很看好。　　更何况以往只要徐源负责的项目，就还没有过失败的情况。　　不过他并没有立刻进行举手决定，而是先侧过脸询问身旁杨老的看法。　　“杨老。”　　“关于稳态微聚束光刻工厂您怎么看？”　　杨老本来就是为了这件事，终于到自己的环节，自然是有什么说什么。　　“小徐和赵翔早就拿这个方案给我看了，虽然仍有些技术问题需要解决，但我认为还是非常可行的。”　　……