“n45nm-7nm arf化学放大光刻正胶，我们这边给的代号是hq-1068，张主任你们需要的应该就是这个。”　　 钱教授指着学生端上来的两瓶用聚四氟乙烯瓶子装的试剂，向张千越介绍了各自的代号，以及性能参数。　　 “另外一个是用在微流体器件领域的负胶，分辨率2微米，稳定性和成本都要比目前市面上的好一点。”　　 “当然，这个在先进制程光刻领域中基本用不到，我就简单提一下，不具体展开了。”　　 钱教授把hq-1068从桌子上拿起来，旋开瓶塞，倒了一点在已经用重铬酸钾清理过污垢，并用超纯水彻底洗净的试剂杯之中。　　 不过纵然是如此谨慎的操作，也只能达到和经过特殊改造，针对光刻胶实验特化过的机器同样的效果。　　 “把配液器停下来，打开后面的遮蔽罩。”　　 钱教授对着玻璃幕墙之后，站在总控台前的学生下了指令，后者便在台子上一通操作。　　 “嗡嗡嗡……”　　 一阵持续低沉的电机声音过后，挡在传送带之上的遮蔽罩缓缓向两侧打开，露出了其中容纳试剂杯的工装。　　 “张博士，帮我把这个试剂杯放到那边的台子上。”　　 钱教授取出原本放在里面的试剂杯递到张千越手上，随后把刚刚装好光刻胶的杯子精准的放了进去。　　 确认无误之后，他朝着屋外的学生比了个手势。　　 “嗡嗡嗡……滴滴滴。”　　 三声短促的提示音过后，屋外的学生通过传音系统对着屋内转告了实验系统的情况。　　 “钱老师，系统自检通过了，您刚放进的光刻胶已经被检测到了。”　　 得到确认的钱教授点了点头，随后对着剩下的两人说道：“实验结果最后都是汇总到外面的总控台上，还是在那里看着清楚一点。”　　 “这边都是封闭的，也看不到什么，咱们现在从实验室里出去吧。”　　 刘天阳和张千越自无不允，两人跟着钱教授走出风淋室，脱下了那身闷热无比的防尘服。　　 “这衣服捂的也太严实了，刚刚实验室里也开了空调，结果还是出了一身汗。”　　 “以前一穿都是一整天，好在现如今实验流程自动化了，倒是摆脱了这种烦恼。”　　 钱教授看着满头大汗的三人，感慨了两句。　　 “而且效率也提升了不止一筹，出的活比之前瞎猫乱撞多多了。”　　 “的确如此。”张千越接上了话题，“这种实验方式相对于之前简直就是鸟枪换炮，根本就不是一个级别的。”　　 “难不成小日子那边也是这样搞的？”　　 “这个问题就要刘总来回答了，毕竟我只是从本专业的角度提供了需求，具体设计和建设都是他那边一手操办的。”　　 面对张千越的问题，钱教授笑着看向刘天阳，他其实也对别人有没有这种技术很好奇。　　 毕竟只用了一两个月，钱教授的团队就已经从以前的技术积累中挖掘出了很多遗漏掉的闪光点。　　 这么算下来，那些早就用上的人，岂不是已经把他们远远的甩到了后面？！　　 “小日子？哼，就凭他们，绝无可能。”　　 刘天阳不屑的说道，他回想起最近国安那边传过来的，老美的那个科研辅助平台的惨烈进度，又补充了一句。　　 “就是加上老美也不行，咱们现在相对于其他国家是断层式领先，根本就不在一个水平上。”　　 “钱教授，你可要好好的抓住这个时间差啊，咱们争取弯道加速，直接把他们反超过去。”　　 “那是自然。”钱教授重重的点了点头，“有了这种利器，我要是还不能撑起发达国家粉碎机的称号，简直就是在对国家和人民犯罪。”　　 “哈哈，钱教授你这就言重了……”　　 这边两人针对人工智能辅助科研的事情交流的火热，被夹在中间的张千越脸上陪着笑，内心却是油然而生冒出一个想法。　　 ‘虽然不能跑去刘总那边上班，可要是能把这套系统也搬到公司那边，用在光刻台机的测试上，那也挺好的……’　　 “断开配液器和之后分液器的通信链路，把系统从这里调成开环控制模式。”　　 钱教授刚走进总控室，便直接进入了工作状态，神情非常认真，完全看不出几秒前还在跟刘天阳谈笑风生。　　 “把上一次hq-1068的实验参数调出来，还有备份在硬盘上的数据，一起打开。”　　 钱教授把屏幕上的两组数据和心里面记下来的参数对比了一下，确认无误后才将其导入了控制系统。　　 “从这里可以看到整个实验的流程，现在系统正在对硅圆片进行旋转涂胶，稍后便会对表面的膜厚进行检测。”　　 “确认正常之后就会选择一片区域进行剥离力测试、接触角测试等等。”　　 随着屏幕上流程模块逐次高亮，钱教授向张千越详细的介绍了每一个流程对应的检测仪器，以及其所检测的内容是什么。　　 “现在进前烘箱了，为了降低高温烘箱对其他仪器精度的影响，我们特意把它放进了独立的房间内。”　　 钱教授切换了摄像头的画面，一个刚刚张千越没有见过的机器出现在了屏幕的正中央。　　 “预热完成了，现在硅片已经进烘箱了，我们这个光刻胶的前烘参数是95摄氏度，30秒。”　　 张千越看向监控画面一旁的状态监测区，上面实时显示着烘箱内部14个温度感应器测得的数据。　　 ‘0#94.988c　　 1#95.002c　　 2#……’　　 好稳定的跟踪效果。　　 张千越有些咋舌，这个烘箱的温度均匀性，比他们东芯国际实验室里的还好。　　 “诶，钱教授，你们这烘箱哪家的货啊，均匀性也太好了。”　　 “啊，我也不清楚，这些仪器都是刘总负责采购的。”钱教授一摊手，“我只负责用。”　　 “找厂家特挑的货。”　　 啊？　　 这玩意还有体质，也跟cpu一样能特挑？！　　 张千越被刘天阳一句话说懵了，也不敢追问，只能就此作罢。　　 “进光刻机了，arf光源的功率虽然只有20w，但足够我们实验用了。”　　 钱教授说完这句话后便不再言语，实验室的其他人也是一样，静静的等待这最关键一步的完成。　　 化学刻蚀，余胶清洗，硅片在完成了最后两个步骤之后，便被机械手放到了电子显微镜之下。　　 “按照正常流程，电子显微镜会将硅片表面的刻蚀结果全部扫一遍，然后交给人工智能进行分析，我们只需要看最终结果就好了。”　　 钱教授主动接管了电子显微镜，控制着镜头在硅片表面移动着。　　 “现在是为了让张主任你看的更清楚，才手动操作的。”　　 这精准度，真不错！　　 如果说之前的那些步骤，张千越只是略微了解的话，那现在这一步就到了他的老本行了。　　 沟槽的平行度，线宽的均匀性，以及边缘的锐利度，电子显微镜拍摄出的图片对于普通人来说，或许就像一副杂乱无序的超现实主义画作一般。　　 但在张千越眼里，这些非量化的东西，却暴露出了整个光刻流程的质量控制能力。　　 只是……　　 “这质量未免有些太好了……”张千越喃喃自语，有点不敢相信。　　 如果钱教授的光刻胶真能把单层的质量提高到这种水平，那别说等效n7p工艺了，张千越甚至有信心在四重曝光saqp工艺的基础上，直接把制程提高到等效5nm的工艺水平。　　 “不对，应该不只是光刻胶的功劳。”张千越作为理工科领域的专家，自然清楚对比问题要控制变量的道理。　　 现在钱教授这边从最开始的旋转涂胶，到关键的光刻机，以及最后的蚀刻工艺都跟东芯国际产线上的不一样。　　 因而还不能武断的把光刻结果这么好的原因，全部归到光刻胶头上。　　 ‘只不过除了那个模拟光刻机是钱教授他们自己搞的，不了解性能之外，其他的东西基本上都是大路货。’　　 ‘难不成全部都是特挑的？’　　 张千越把这个不切实际的想法从脑子里甩了出去，他在这行干这么久，也经手过不少采购。　　 对于那些供应商的品行自然是非常了解，要真是能靠特挑找出一批性能更好的货，怎么可能不挂上升级款的名义卖出更高的价格。　　 换而言之，就以东芯国际他们对供应商的严苛要求，基本上每一个仪器都经历过层层检验，和所谓的特挑货也没什么区别。　　 “钱教授，你们这有没有其他公司的成品光刻胶，我想对比看一下结果。”　　 张千越对当前实验方案提出了一个建议，不过钱教授和他的学生找了半天，也没找到一瓶满足他要求的，全新未开封的光刻胶。　　 毕竟他们是研发光刻胶的教研室，仓库里最多的都是各种原料试剂，除非是为了逆向研发，也不会花高溢价去散买小日本的光刻胶。　　 “那我现在让公司的人带一瓶……”张千越停住了嘴，想到了一个更好的方法。　　 既然目的是要评价这个新光刻胶的性能，何不把直接把这东西用在他们东芯国际的实验产线上呢。　　 如此一来，便能将其他额外因素全部保持一致，让hq-1068和小日子的各型光刻胶直接同台竞技。　　 对，就这么干！　　 打定主意的张千越用希冀的眼神看向钱教授，语气里面充满了急切。　　 “钱教授，你这个光刻胶有没有全新的样品，如果可以的话，我想带回公司做一下工艺鉴定试验。”　　 这个光刻胶即便不能达到小日子禁售的版本，只要能和目前他们常用的那些水平一致，对于东芯国际来说也是了不得的进步了。　　 毕竟整个配置流程和中间的工艺技术都在钱教授手上，他们双方只要多迭代几轮，很快就能光刻胶的性能给提上去。　　 “这个是有的，我现在就让学生准备一下。”钱教授立刻打招呼让自己的博士去库房取之前封装好的光刻胶。　　 “还有什么其他需要准备的吗？”　　 钱教授对于张千越非常热络，他很清楚，高校研发出的成果要想落地，绝对离不开企业的支持。　　 更何况还是在芯片这么一个重资产重投入，只有少数几个头部大玩家能够玩转的行业。　　 “光刻对应的工艺参数，还有你们机器的性能参数也给我准备一份吧，我回去让产线对着改一下，尽量发挥出光刻胶的性能。”　　 张千越从学生手中接过一个看上去就十分坚固的黑箱子，转头看向刘天阳。　　 “走，刘总，咱们回去吧，刚刚市场那边的赵经理跟我发了个信息，说是晚上一起出来吃个饭。”　　 嗯？　　 这个姓赵的吗，有完没完了。　　 刘天阳本来还在向外走的脚步直接停下了，对着张千越开了口。　　 “你就跟赵经理说，我这边要跟钱教授交流一下技术问题，这次就失陪了。”　　 虽然已经有些不耐烦，但刘天阳并没有在张千越面前表现出来。　　 “你们大概需要多久能把光刻胶的参数给测出来？”饭局刘天阳不打算去，但要干的活还是盯的很死的。　　 现在他那边几个大项目都急切的需要芯片这边出现突破，可由不得东芯国际这边慢慢悠悠往前赶。　　 “我刚看了下钱教授这边机器的参数，差别不是太大，今天晚上回去就把实验产线腾一下。”　　 “顺利的话明天就能拿以前成熟的光掩膜刻一版出来，有进展的话我会立刻通知您。”　　 “好！”刘天阳点了点头，对于这样的速度十分满意。　　 “那我明天就先不回去了，你那边有没有结果都跟我说一声。”刘天阳思索了一下，继续说道，“我等下跟你们王总联系一下，如果有时间的话明天晚上碰个面。”　　 “商量一下合作研发光刻胶的事情，主体是钱教授他们团队，研究用的钱我这边都可以出。”　　 “但你们东芯国际也需要提供一下技术支持和工艺实验条件，毕竟这东西最终收益的，还是你们。”　　 看着跟小鸡啄米一样点头的张千越，刘天阳笑了笑，拍了拍这个比自己年长不少的人的肩膀。　　 “这件事就不用你转达了，我等下会亲自跟王总交流，你只需要把光刻胶验证实验的事情做好就行了。”　　 从距离京城市中心近20多公里的实验室离开，又赶上了晚高峰，张千越花了将近一个半小时才回到东芯国际的驻地。　　 不过他刚一进办公室，便看到得到下属通报商务车回来的赵经理气势汹汹的走了过来。　　 “张主任，你怎么没把刘总带过来呢。”他一张嘴，就是指责，丝毫不在乎面前的这个常青藤博士，在学识上远胜于自己这个普本的事实。　　 “我还专门给你发了短信和微信，要不是担心吵到刘总，就直接给你打电话了。”　　 “你知道刘总背后的能量有多大吗？！”赵经理唾沫星子乱飞，嗓门提的很高，“要是能把他拉到我们这边，公司的业务市场绝对能获得极大的发展。”　　 什么公司的业务市场，是你自己的业务市场吧！　　 想要借着刘总的势在公司里搅风搅雨，狐狸尾巴早就露出来了，还在这装！　　 张千越越听越觉得心烦，再加上刘天阳给他安排的任务很急，于是也没再多跟赵经理虚与委蛇。　　 “首先，赵经理，刘总来不来不是我能决定的，我只是原封不动的转达了他说的话而已。”　　 “刚刚你也提到了他的身份，这种人，我难道还能绑回来吗？”　　 张千越直截了当的回复把赵经理的脸都给憋红了，后者还想说些什么，又被张千越连珠炮似的回复堵了回去。　　 “而且更关键的一点，刘总让我帮他测一个东西，要的非常急，我现在就要去产线上，没时间在这瞎折腾。”　　 “赵经理，按照刘总的安排，他明天要跟咱们公司王总就这个东西对接一下合作事宜。”　　 “极其重要，真正意义上关乎了我们公司的发展。”　　 “啊……嗯，那你快去吧，我就是过来问一下情况，没别的意思。”　　 赵经理听到王总的名字，立刻蔫了下去，没敢再拦在张千越的面前。　　 后者也没多做什么多余的举动，拿起工装穿在身上，便坐着电梯下到了产线之上。　　 “张主任，怎么现在过来了，有什么要紧的事吗？”　　 正在摸鱼的工艺主管看到张千越过来，连忙把手机扣在桌子上，仰着脸打起了招呼。　　 “夜班的兄弟到岗没有？”张千越一见面就劈头盖脸的问道，语速极快。　　 “按照班次表是应该到了，我问下调度。”　　 “好，你让调度安排一下，今天晚上抽一些人到实验产线上，我这边有一个新的光刻胶需要做工艺鉴定试验。”　　 张千越把钱教授给的那张参数表拍到工艺主管桌子上：“具体参数都在这里，你根据咱们的机器做一下调整。”　　 “工艺鉴定试验？这个明天早上做来得及么，晚班人本来就少，要是在抽人怕是会影响正常生产啊。”　　 工艺主管听到张千越的话，皱起了眉头，试探着商量了一下。　　 “不行，这个东西明天就要拿给王总看，有一个大客户需要这个结果。”张千越的语气很干脆，没有商量的余地。　　 “王总？！”工艺主管点了点头，“我知道了，张主任您现在去实验产线那边吧，工人们一会就到。”　　 ……　　 工艺鉴定试验看上去只是拿光刻胶做了一次生产测试，如果按照正常生产的话可能连一个小时都用不了。　　 但其实际上却极为复杂，毕竟张千越要的并不是一个没什么用的硅片，而是能跟其他光刻胶进行对比的实验结果。　　 从昨晚八点到交接班换人，张千越一直守在产线边上，除了眯了几眼之外，几乎就没有休息过。　　 随着离子注入机再一次把硅片退出来，张千越红着眼，来到检测工人旁边。　　 “第八次套刻的结果怎么样，偏差大不大。”　　 “还行，跟前几次一样，没有出现明显的错位现象，整个硅片的沉积效果很好。”　　 “好。”张千越点了点头，这样的工序只要再来上几次，四重曝光的流程就差不多走完了。　　 如果光刻胶能一直保证之前的精度的话，那么最终测试的结果估计会给他带来一个不小的惊喜。　　 ‘比现在小日子的货强上不少，虽然还比不过台积电用的顶尖光刻胶，但应对刘总的那个芯片应该是足够了。’　　 熬了这么久，张千越也实在有些顶不住了，他只感觉上下眼皮一直在打架，整个人都有些昏昏沉沉的。　　 正好现在套刻只是重复性的工作，参数方面也不需要他多参与，于是张千越跟换班的工艺讲了一声，让他在结果出来之后去把自己叫醒，便走到值班室趴在桌子上睡了起来。　　 “张主任，张主任。”　　 大概两个小时之后，张千越被那个年轻工艺推醒，迷迷糊糊的走到水池边上用凉水洗了把脸，才彻底精神过来。　　 ‘跟之前猜的差不多，hq-1068的性能要比现在公司用的最好的光刻胶也要好，感觉跟信越的顶尖产品也不相上下了。’　　 而在看到最终硅片的检测结果之后，张千越的心里更是燃起了一把火。　　 这件事可不只是公司多了一家潜在的光刻胶供应商那么简单，在hq-1068光刻胶的性能得到确定之后，西方卡在国家芯片行业上的枷锁可以说是又少了一根。　　 ‘现在当务之急是跟王总汇报这件事情，让他跟钱教授和刘总商量，尽快实现光刻胶的量产！’　　 张千越想到这里，立刻把实验结果通过内部网络传到了自己电脑上，赶会办公室打印了一份，便急冲冲的朝总经理办公室走去。　　 不过当他敲开门，却发现里面还有一个自己意想不到的人在。　　 “刘总！”张千越先是一愣，之后便是一阵惊喜，这下正主也来了，倒是方便的多了。　　 “光刻胶的工艺鉴定试验做完了，结果很好。”张千越没有卖关子，直接把打印出来的资料放到正在聊天的两人面前。　　 “各方面都超过了信越供应的产品，完全具备上产线的资格。”　　 “哈哈，又是一个好消息。”坐在总经理位置上的王显达听言笑呵呵的开了口，“这样一来，咱们之间的合作又多了一个坚实的基础啊！”